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FRT GmbH
Friedrich-Ebert-Str.
D-51429 Bergisch Gladbach
| Rechtsform: | GmbH |
| Handelsregister: | HRB 87409 |
| Registergericht: | Köln |
| Geschäftsführung: | Dr. Thomas Fries |
| Ust.-ID: | DE305921316 |
| Gesellschafter/-in: | k.A. |
| Die Angaben im Impressum unterliegen dem Verantwortungsbereich des jeweiligen Unternehmens. | |
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Produkte
MicroProf® 200
Highlights:
- Stand-Alone-Gerät
- 200 mm x 250 mm Messbereich (lateral)
- hoher Durchsatz, max. Messgeschwindigkeit 300 mm/sec
- der Standart – mehrere Hundert Systeme weltweit installiert
- vollständig automatisiertes und integriertes Produktionsgerät (optional)
- individuell konfigurierbar
Hersteller: FRT GmbH
Anbieter: FRT GmbH 51429 Bergisch Gladbach
MicroProf® FS
Highlights:
- Multi-Sensor- Messtechnik und hybride Metrologie für MEMS und Foundries
- Konfigurierbar für einen breiten Bereich an Anwendungen in der Wafer Foundry
- standardisierte sowie kundenspezifische Lösungen
- größtmögliche Flexibilität
- Handling unterschiedlicher Substrat-Typen
- leistungsstarke Software zur vollautomatisierten 2D- und 3D-Oberflächenmessung
- Equipment Front End Module (EFEM)
Hersteller: FRT GmbH
Anbieter: FRT GmbH 51429 Bergisch Gladbach
MicroProf® MHU
Highlights:
- Material Handling Unit mit Doppelarm-Roboter
- hoher Durchsatz , bis zu 200 w/h
- Ladestation für offene Kassetten
- OCR Reader / Pre-Aligner
- Sorting-Funktion zur Sortierung von guten und schlechten Proben
- optionale SECS/GEM Schnittstelle
Hersteller: FRT GmbH
Anbieter: FRT GmbH 51429 Bergisch Gladbach
