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Produktliste
Carrier Wafer
Prozess-Carrier zur Fertigung ultradünner Substrate aus Silizium, Galliumarsenid und weiteren Spezial-materialien. Cte-angepasste Materialien, wiederverwertbar, geringste Wafer-zu-Wafer-Dickentoleranzen, unterschiedliche Oberflächeneigenschaften und -strukturierungen für alle marktgängigen Bondverfahren.
Hersteller: Plan Optik AG
Anbieter: PLANOPTIK AG 56479 Elsoff
Chemisch-mechanische Polieranlage ECO 500
Chemisch-mechanische Poliertechnologie (CMP) mit präziser Prozesssteuerung
Hersteller: G&N Genauigkeits Maschinenbau Nürnberg
Anbieter: G&N Genauigkeits Maschinenbau Nürnberg GmbH 91058 Erlangen
MicroProf® FS
Highlights:
- Multi-Sensor- Messtechnik und hybride Metrologie für MEMS und Foundries
- Konfigurierbar für einen breiten Bereich an Anwendungen in der Wafer Foundry
- standardisierte sowie kundenspezifische Lösungen
- größtmögliche Flexibilität
- Handling unterschiedlicher Substrat-Typen
- leistungsstarke Software zur vollautomatisierten 2D- und 3D-Oberflächenmessung
- Equipment Front End Module (EFEM)
Hersteller: FRT GmbH
Anbieter: FRT GmbH 51429 Bergisch Gladbach
Packaging Wafer
Cap Wafer für Wafer Level Packaging bis 300 mm in unterschiedlichen Werkstoffen und Kombinationen. Anwendungen in Consumer Electronics, Automotive, Luft- und Raumfahrt, Chemie, Pharma und Halbleiter wie zum Beispiel C-MOS-Kapselung oder Reifendrucksensoren. Kundenspezifische Lösungen.
Hersteller: Plan Optik AG
Anbieter: PLANOPTIK AG 56479 Elsoff
Präzisions-Flachschleifmaschine RCplus
Präzisions-Flachschleifmaschine speziell für harte, spröde und schwer zu bearbeitende Werkstoffe wie SiC, GaN, SiN, Al2O3 u.a.
Hersteller: G&N Genauigkeits Maschinenbau Nürnberg
Anbieter: G&N Genauigkeits Maschinenbau Nürnberg GmbH 91058 Erlangen
Quartzwafer
Plan Optik fertigt Quarzwafer (SiO2) sowohl als Einzelanfertigung als auch in Großserie aus synthetischem "fused silica" sowie aus natürlichem Rohstoff gewonnenem "fused quartz".
Hersteller: Plan Optik AG
Anbieter: PLANOPTIK AG 56479 Elsoff
